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Akustische Resonanzsensoren zur Massenbestimmung

Akustische Oberflächenwellen (SAW = surface acoustic wave) oder Volumenwellen (BAW = bulk acoustic wave) sind in der Elektronik von großer Bedeutung. Sie werden in einem kristallinen, piezoelektrischen Material erzeugt und finden ihre Anwendung in elektronischen Bauteilen, die als Resonator, Filter oder Verzögerungsleitung benutzt werden.

Beim Resonator wird die Frequenz der stehenden akustischen Welle an der Oberfläche eines Festkörpers oder in einem Festkörper von vielen Parametern beeinflußt, besonders jedoch von seiner Masse. Man kann sich also einen selektiven Sensor vorstellen, bei dem das nachzuweisende Molekül selektiv an diesem Festkörper absorbiert wird, die schwingende Masse erhöht und somit über eine Frequenzänderung detektiert werden kann.

Dieser Sensor kann als akustischer Volumenwellenschwinger (BAW) – besser bekannt als  Schwingquarzwaage  (QMB = quartz microbalance) – oder als  Oberflächenwellenschwinger  (SAW) ausgeführt werden. Eine besondere Bauform der Oberflächenwellenschwinger sind die Resonatoren, die  Lambwellen  erzeugen.
 

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